金融界2024年11月27日消息，國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，中國南方電網(wǎng)有限責任公司申請一項名為“基于SOI的壓力傳感器”的專利，公開號 CN 119023124 A，申請日期為2024年10月。

專利摘要顯示，本申請涉及一種基于SOI的壓力傳感器，涉及微電子技術(shù)領域。包括依次層疊設置的密封襯底、下電極結(jié)構(gòu)、絕緣結(jié)構(gòu)和上電極結(jié)構(gòu)；密封襯底和下電極結(jié)構(gòu)之間設置有空腔，下電極結(jié)構(gòu)與空腔接觸的表面設置有壓力敏感膜；絕緣結(jié)構(gòu)的尺寸小于下電極結(jié)構(gòu)的尺寸且大于上電極結(jié)構(gòu)的尺寸上電極結(jié)構(gòu)的位置與壓力敏感膜的位置相對應；還包括：補償結(jié)構(gòu)；其中，補償結(jié)構(gòu)與上電極結(jié)構(gòu)處于同一水平面，且設置在絕緣結(jié)構(gòu)遠離下電極結(jié)構(gòu)的表面，補償結(jié)構(gòu)的位置與下電極結(jié)構(gòu)直接與密封襯底接觸的表面位置相對應。本申請能夠提高壓力傳感器的測量精確度。

本文源自：金融界

作者：情報員