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- MEMS傳感器的靜止帶寬測試
- 來源：賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2012/12/10
- 對于采用MEMS加速度計和陀螺儀的工業(yè)系統(tǒng)而言，優(yōu)化帶寬可能是關(guān)鍵考慮因素。這代表著精度(噪聲)與響應(yīng)時間之間的一種經(jīng)典權(quán)衡。雖然多數(shù)MEMS傳感器制造商都會給出典型帶寬指標(biāo)，往往還需要驗證傳感器或整個系統(tǒng)的實際帶寬。在確定加速度計和陀螺儀的帶寬特性時，一般需要使用振動臺或其他機(jī)械激勵源。要精確確定特性，需要全面了解應(yīng)用于受測器件(DUT)的運動。在此過程中需要管理多種潛在誤差源。在機(jī)械帶寬測定中，一個常見的誤差源是諧振。導(dǎo)致機(jī)械諧振的原因有多種，包括激勵源維護(hù)不當(dāng)、DUT與激勵源耦合不良以及基準(zhǔn)傳感器放置等。這些誤差的隔離十分耗時，可能給至關(guān)重要的項目進(jìn)度帶來風(fēng)險。
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